流量计在工业自动化和过程控制中占据着举足轻重的地位，它们能够实时且精确地监控流体（无论是液体还是气体）的流动状态，这对于保障生产流程的稳定性和提升效率至关重要。在众多流量计类型中，半导体流量计凭借其卓越的高精度与多功能特性，在高纯度半导体制造领域内获得了广泛应用。该类流量计专为半导体行业对流体极高纯净度和测量精度的需求而打造，不仅能测量流体的质量流量率，还能累积计算出总质量，这对于原材料投入的精准控制和生产成本的精确核算具有重大意义。
半导体流量计（MFM）与质量流量控制器（MFC）有所区别。MFC通常内置阀门，具备控制流体流量的功能；而半导体流量计专注于检测流体的质量流量，不提供流量控制功能。在气体应用场合，它能够监测气体的累积流量（即使用量），或者作为质量流量控制器调节气体流量时的双重校验工具或便捷参考设备。对于液体流量测量，质量流量计还配备有控制信号，用以调控液体控制阀及汽化器内部集成的流量控制阀。
根据QYResearch最新调研报告显示，预计2031年全球半导体流量计市场规模将达到4.78亿美元，未来几年年复合增长率CAGR为9.26%。
全球范围内，半导体流量计核心厂商主要包括HORIBA、Brooks Instrument、北京华丞电子、富士金和万机仪器等。2024年，全球第一梯队厂商主要是HORIBA，第一梯队占有大约26.3%的市场份额；第二梯队厂商有Brooks Instrument、北京华丞电子（七星华创）、富士金、万机仪器、阿自倍尔株式会社等，共占有38.22%份额。
从产品类型方面来看，气体流量计占有重要地位，其主要用于沉积工艺、刻蚀工艺、离子注入等场景，主要功能是监测/测量气体（SiH₄、NH₃、CF₄、SF₆、BF₃、PH₃）的流量。气体流量监测是 MFM 在半导体行业中最主要的应用领域，预计2031年份额将达到77.9%。
同时就应用来看，流量计主流用于立式炉/卧式炉/RTP设备、沉积设备、刻蚀设备、气体供应系统等厂家，目前来看流量计在立式炉/卧式炉/RTP设备中应用较广泛，在2024年份额大约是39.5%，未来几年CAGR大约为4.46%。
本文作者
董家时--本文主要分析师
QYResearch南宁研究中心负责人，也是QYResearch半导体设备和材料部门的主要成员，主要研究领域有电子、半导体设备、材料等，部分细分研究课题包括汽车二极管、汽车电感、汽车激光雷达、射频电源、分立器件、塑封机、晶圆缺陷检测和复检设备、3D晶圆AOI、前驱体、电镀设备、半导体化学镀液、半导体设备用电机、半导体设备用气浮平台、半导体设备用干泵、半导体涂层器件等，同时也从事细分市场报告的开发，并参与定制项目的撰写。合作的客户包括了华为、华德电子、日立高科、Towa、三菱电机、HORIBA、舍弗勒等。
