2025年全球及中国静电吸盘用陶瓷加热器市场供需情况和”十五五”发展预测
【报告篇幅】：98
【报告图表数】：91
【报告出版时间】：2025年2月
【报告出版机构】：恒州博智(QYResearch)
报告摘要
2024年全球静电吸盘用陶瓷加热器市场规模大约为5.51亿美元，预计2031年将达到8.35亿美元，根据恒州博智（QYResearch）预测，2025-2031期间年复合增长率（CAGR）为6.0%。未来几年，本行业具有很大不确定性，本文的2025-2031年的预测数据是基于过去几年的历史发展、行业专家观点、以及本文分析师观点，综合给出的预测。
静电卡盘陶瓷加热器是指安装在静电卡盘底部或集成在其内部的加热装置，用于对卡盘上的晶圆进行均匀加热，确保在加工过程中保持所需的温度条件，从而提高工艺质量和生产效率。
陶瓷加热器的基本构造包括承载晶圆的陶瓷基座、背面对其提供支承的圆筒状支持体，以及在陶瓷基座内部或表面设置的加热电阻元件和射频电极。为了实现快速升温和降温，陶瓷基座的厚度需要尽可能薄，但过薄又会导致刚性下降，因此需要在保证刚性的前提下尽量减薄。
薄膜沉积设备由于涉及到高温环境，通常采用以氮化铝（AlN）为主的陶瓷材料。氮化铝（AlN）陶瓷加热器在半导体制造中之所以受到青睐，主要得益于其独特的物理和化学性质。氮化铝不仅具有高导热性，能够在短时间内实现快速升温和降温，还具有良好的电绝缘性和机械强度，确保了加热器的稳定性和可靠性。此外，氮化铝的热膨胀系数与硅相近，这有助于减少热应力对晶圆的影响，提高工艺率。
本文统计与静电卡盘配套使用的底盘陶瓷加热器。
该行业高度集中，前三大公司占据了超过90%的市场份额。其中，NGK Insulators处于市场领先地位，年市场份额约为70%。主要制造商集中在日本和韩国，美国也有一些较小的生产商。近年来，一些中国公司开始崭露头角，预计将在2025年或2026年开始小规模生产。随着全球政府政策的支持不断增加，未来竞争预计将加剧，特别是在中国市场。
下游市场主要由提供OEM解决方案的CVD和ALD设备制造商以及晶圆厂对替换材料的需求构成。目前，设备制造商的需求非常大，通常与他们的设备捆绑销售。设备制造商占据了超过74%的需求，其余26%来自晶圆厂。除了更换新的陶瓷加热器外，晶圆厂还有一些翻新和修复的产品（本报告未包括翻新和修复产品的市场规模）。
从下游消费地区来看，美国是最大的下游市场，主要需求来自应用材料（Applied Materials，AMAT）和Lam Research等客户。日本和韩国紧随其后，主要客户包括东京电子（Tokyo Electron）、Wonik IPS、Eugene Technology和Jusung Engineering。台湾市场主要服务于晶圆厂，如台积电（TSMC）。近年来，由于沈阳拓荆和北方华创等公司在CVD和ALD设备上的大量投资，中国市场的需求迅速增长，带来了显著的销售增长。
本报告研究“十四五”期间全球及中国市场静电吸盘用陶瓷加热器的供给和需求情况，以及“十五五”期间行业发展预测。
重点分析全球主要地区静电吸盘用陶瓷加热器的产能、销量、收入和增长潜力，历史数据2020-2024年，预测数据2025-2031年。
本文同时着重分析静电吸盘用陶瓷加热器行业竞争格局，包括全球市场主要厂商竞争格局和中国本土市场主要厂商竞争格局，重点分析全球主要厂商静电吸盘用陶瓷加热器产能、销量、收入、价格和市场份额，全球静电吸盘用陶瓷加热器产地分布情况、中国静电吸盘用陶瓷加热器进出口情况以及行业并购情况等。
此外针对静电吸盘用陶瓷加热器行业产品分类、应用、行业政策、产业链、生产模式、销售模式、行业发展有利因素、不利因素和进入壁垒也做了详细分析。
全球及中国主要厂商包括：
NGK insulator
MiCo Ceramics
Sumitomo Electric
NTK Ceratec
Kyocera
CoorsTek
Boboo Hi-Tech
Fralock
Semixicon
珂玛科技
按照不同产品类型，包括如下几个类别：
300毫米
200毫米
其他
按照不同应用，主要包括如下几个方面：
设备生产商
晶圆供应商
本文包含的主要地区和国家：
北美（美国和加拿大）
欧洲（德国、英国、法国、意大利和其他欧洲国家）
亚太（中国、日本、韩国、中国台湾地区、东南亚、印度等）
拉美（墨西哥和巴西等）
中东及非洲地区（土耳其和沙特等）
本文正文共12章，各章节主要内容如下：
第1章：报告统计范围、产品细分、下游应用领域，以及行业发展总体概况、有利和不利因素、进入壁垒等；
第2章：全球市场供需情况、中国地区供需情况，包括主要地区静电吸盘用陶瓷加热器产量、销量、收入、价格及市场份额等；
第3章：全球主要地区和国家，静电吸盘用陶瓷加热器销量和销售收入，2020-2025，及预测2026到2031；
第4章：行业竞争格局分析，包括全球市场企业排名及市场份额、中国市场企业排名和份额、主要厂商静电吸盘用陶瓷加热器销量、收入、价格和市场份额等；
第5章：全球市场不同类型静电吸盘用陶瓷加热器销量、收入、价格及份额等；
第6章：全球市场不同应用静电吸盘用陶瓷加热器销量、收入、价格及份额等；
第7章：行业发展环境分析，包括政策、增长驱动因素、技术趋势、营销等；
第8章：行业供应链分析，包括产业链、主要原料供应情况、下游应用情况、行业采购模式、生产模式、销售模式及销售渠道等；
第9章：全球市场静电吸盘用陶瓷加热器主要厂商基本情况介绍，包括公司简介、静电吸盘用陶瓷加热器产品规格型号、销量、价格、收入及公司最新动态等；
第10章：中国市场静电吸盘用陶瓷加热器进出口情况分析；
第11章：中国市场静电吸盘用陶瓷加热器主要生产和消费地区分布；
第12章：报告结论。
