根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式压力真空计（Capacitance Manometer Vacuum Gauges），电容式压力真空计是一种绝压、全压测量的真空计，原理是把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化，即产生了电容的变化，再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化，组成为输出信号，所以，它的测量是直接反映了真空压力的变化值，而且只与压力有关，与气体成分无关，即：电容式压力真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。全球电容式压力真空计核心厂商包括Inficon、MKS Instruments、Agilent、Setra Systems等，前五大厂商占有全球大约77%的份额。就产品而言，100-1000 Torr是最大的细分，市场份额超过48%。在应用方面，主要应用在半导体设备，份额超过52%。
据路亿市场策略LP Information调研
按产品类型：电容式压力真空计细分为：0.01-1 Torr、 1-10 Torr、 10-100 Torr、 100-1000 Torr、 大于1000 Torr
按应用，本文重点关注以下领域：半导体设备、 薄膜沉积工艺、 医用器材、 食品工业、 其他
本文重点关注全球范围内电容式压力真空计主要企业，包括：Inficon
MKS Instruments
Agilent
Setra Systems
Pfeiffer Vacuum
Canon Anelva
Atlas Copco（Leybold and Edwards）
Brooks Instrument
ULVAC
Kurt J. Lesker
Thyracont
InstruTech
Azbil
Horiba
Atovac
