【出版机构】：qyresearch研究中心
半导体射频电源是可以产生固定频率的正弦波、具有一定频率的高频电源,主要由射频信号源、射频功率放大器及阻抗匹配器组成,是等离子体配套电源。射频功率放大器被认为是射频电源的核心,因此射频功率放大器是制约射频电源发展的关键因素。射频电源由20世纪80年代的电子管射频电源发展到现在的晶体管射频电源,经历了漫长的发展过程。功率由瓦、百瓦、千瓦、到兆瓦，,频率有2、4、13.56、27.12、40.68MHz、60MHz等不同范围。目前射频电源被广泛应用于半导体蚀刻、沉积工艺设备等领域。
半导体射频电源根据采用的功率放大器类型不同,可分为电子管射频电源与晶体管射频电源(又称为全固态射频电源)。射频功率放大器的发展较为缓慢,直到1904年电子管的出现,才开始被正式应用于各领域口,这是因为电子管从根本上解决了射频功率放大器的器件问题。但是电子管本身存在很多问题:首先它的体积非常大,在某些精密领域限制了电子管射频电源的应用;其次电子管射频电源的寿命还不到晶体管射频电源的一半,最重要的是它的制造工艺非常复杂,因此随着晶体管的发展,电子管逐渐被淘汰。同电子管相比,晶体管射频电源的体积要小很多,同时它的损耗低,寿命长,产生很少的热量。
目前我国先进的等离子体设备使用的射频电源,与国外同类电源相比还存在一定差距,要超赶上国际水平,还需要做很多工作:
1)目前我国的射频电源采用大多是电子管或电子管、晶体管混合电路,体积较大,限制了它的应用。并且使用的晶体管大多为国外进口,因此,需要研制我国自主核心的晶体管,研制新技术、新元器件,使射频电源小型化
2)目前我国使用的还是阻抗手动匹配器,容易受环境因素的影响,而国外已开始使用阻抗自动匹配器,在工业自动化领域发挥着重要的作用,因此,高精度、高速度的阻抗自动匹配器是未来发展的必然趋势。
3)与国外射频电源相比,我国射频电源种类较为单一,今后还应该进行宽频带电源、微波电源、高功率射频电源等不同类型射频电源的研制。
根据QYR（恒州博智）的统计及预测，2022年全球半导体射频电源市场销售额达到了7.26亿美元，预计2029年将达到14.57亿美元，年复合增长率（CAGR）为11.18%（2023-2029）。地区层面来看，中国市场（含台湾地区）在过去几年变化较快，2022年市场规模为96.6百万美元，约占全球的13.31%，预计2029年将达到188.52百万美元，届时全球占比为12.94%。
生产端来看，北美和日本是两个重要的生产地区，2022年分别占有36.04%和23.17%的市场份额，预计未来几年，中国地区将保持最快增速，预计2029年份额将达到11.71%。
从产品产品类型方面来看，13.56MHz占有重要地位，预计2029年份额将达到32.1%，其次是27.12Mhz类型。同时就应用来看，蚀刻在2022年份额大约是36.56%，未来几年CAGR大约为11.09%。
从生产商来说，全球范围内，半导体射频电源核心厂商主要包括万机仪器、美国优仪（AE）、日本大阪变压器株式会社、XP Power和通快等。2022年，全球第一梯队厂商主要有万机仪器、美国优仪（AE）、日本大阪变压器株式会社，第一梯队占有大约52.95%的市场份额；第二梯队厂商有通快、康姆艾德、京三制作所、北广科技、爱发科、日本电子株式会社、Adtec Plasma Technology、New Power Plasma等，共占有33.99%份额。
本报告研究全球与中国市场半导体射频电源的产能、产量、销量、销售额、价格及未来趋势。重点分析全球与中国市场的主要厂商产品特点、产品规格、价格、销量、销售收入及全球和中国市场主要生产商的市场份额。历史数据为2018至2022年，预测数据为2023至2029年。
主要厂商包括：
万机仪器
美国优仪（AE）
日本大阪变压器株式会社
XP Power
通快
康姆艾德
京三制作所
北广科技
爱发科
日本电子株式会社
Adtec Plasma Technology
New Power Plasma
DKK
Plasma Technology
Pearl Kogyo
SAIREM
Reno Subsystems
T&C Power Conversion
Seren IPS
Coaxis Power Systems
按照不同产品类型，包括如下几个类别：
13.56MHz
27.12Mhz
40.68MHz
60MHz
400kHz
2Mhz
4Mhz
其他
按照不同应用，主要包括如下几个方面：
蚀刻
CVD
PVD
其他
重点关注如下几个地区
北美
欧洲
中国
日本
韩国
中国台湾
正文目录
1 半导体射频电源市场概述 1
1.1 产品定义及统计范围 1
1.2 按照不同产品类型，半导体射频电源主要可以分为如下几个类别 6
1.2.1 全球不同产品类型半导体射频电源销售额增长趋势2018 VS 2022 VS 2029 6
1.2.2 13.56MHz 7
1.2.3 27.12Mhz 7
1.2.4 40.68MHz 8
1.2.5 60MHz 8
1.2.6 400kHz 8
1.2.7 2Mhz 9
1.2.8 4Mhz 9
1.2.9 其他 9
1.3 从不同应用，半导体射频电源主要包括如下几个方面 10
1.3.1 全球不同应用半导体射频电源销售额增长趋势2018 VS 2022 VS 2029 10
1.3.2 蚀刻 11
1.3.3 CVD 12
1.3.4 PVD 12
1.3.5 其他 13
1.4 半导体射频电源行业发展现状分析 14
1.4.1 半导体射频电源行业发展总体概况 14
1.4.2 半导体射频电源行业发展主要特点 14
1.4.3 半导体射频电源行业发展影响因素 15
2 全球半导体射频电源总体规模分析 17
2.1 全球半导体射频电源供需现状及预测（2018-2029） 17
2.1.1 全球半导体射频电源产能、产量、产能利用率及发展趋势（2018-2029） 17
2.1.2 全球半导体射频电源产量、需求量及发展趋势（2018-2029） 17
2.2 全球主要地区半导体射频电源产量及发展趋势（2018-2029） 18
2.2.1 全球主要地区半导体射频电源产量（2018-2023） 18
2.2.2 全球主要地区半导体射频电源产量（2024-2029） 19
2.2.3 全球主要地区半导体射频电源产量市场份额（2018-2029） 19
2.3 中国半导体射频电源供需现状及预测（2018-2029） 21
2.3.1 中国半导体射频电源产能、产量、产能利用率及发展趋势（2018-2029） 21
2.3.2 中国半导体射频电源产量、市场需求量及发展趋势（2018-2029） 21
2.4 全球半导体射频电源销量及销售额 22
2.4.1 全球市场半导体射频电源销售额（2018-2029） 22
2.4.2 全球市场半导体射频电源销量（2018-2029） 23
2.4.3 全球市场半导体射频电源价格趋势（2018-2029） 24
3 全球与中国主要厂商市场份额分析 25
3.1 全球市场主要厂商半导体射频电源销量（2018-2023） 25
3.1.1 全球市场主要厂商半导体射频电源销量（2018-2023） 25
3.1.2 全球市场主要厂商半导体射频电源销售收入（2018-2023） 27
3.1.3 全球市场主要厂商半导体射频电源销售价格（2018-2023） 29
3.1.4 2022年全球主要生产商半导体射频电源收入排名 30
3.2 中国市场主要厂商半导体射频电源销量（2018-2023） 31
3.2.1 中国市场主要厂商半导体射频电源销量（2018-2023） 31
3.2.2 中国市场主要厂商半导体射频电源销售收入（2018-2023） 32
3.2.3 2022年中国主要生产商半导体射频电源收入排名 34
3.2.4 中国市场主要厂商半导体射频电源销售价格（2018-2023） 35
3.3 全球主要厂商半导体射频电源总部及产地分布 35
3.4 全球主要厂商成立时间 36
3.5 全球主要厂商半导体射频电源产品类型及应用 37
3.6 半导体射频电源行业集中度、竞争程度分析 38
3.6.1 半导体射频电源行业集中度分析：2022年全球Top 5生产商市场份额 38
3.6.2 全球半导体射频电源第一梯队、第二梯队和第三梯队生产商（品牌）及市场份额 38
4 全球半导体射频电源主要地区分析 40
4.1 全球主要地区半导体射频电源市场规模分析：2018 VS 2022 VS 2029 40
4.1.1 全球主要地区半导体射频电源销售收入及市场份额（2018-2023年） 40
4.1.2 全球主要地区半导体射频电源销售收入预测（2024-2029年） 41
4.2 全球主要地区半导体射频电源销量分析：2018 VS 2022 VS 2029 42
4.2.1 全球主要地区半导体射频电源销量及市场份额（2018-2023年） 42
4.2.2 全球主要地区半导体射频电源销量及市场份额预测（2024-2029） 43
4.3 北美市场半导体射频电源销量、收入及增长率（2018-2029） 44
4.4 欧洲市场半导体射频电源销量、收入及增长率（2018-2029） 45
4.5 亚太市场半导体射频电源销量、收入及增长率（2018-2029） 46
4.6 拉美市场半导体射频电源销量、收入及增长率（2018-2029） 47
4.7 中东和非洲市场半导体射频电源销量、收入及增长率（2018-2029） 48
5 全球市场主要半导体射频电源厂商简介 49
5.1 万机仪器（MKS Instruments） 49
5.1.1 万机仪器基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 49
5.1.2 万机仪器半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 49
5.1.3 万机仪器半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 52
5.1.4 万机仪器公司简介及主要业务 52
5.2 美国优仪（Advanced Energy） 52
5.2.1 美国优仪（AE）基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 53
5.2.2 美国优仪（AE）半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 53
5.2.3 美国优仪（AE）半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 55
5.2.4 美国优仪（AE）公司简介及主要业务 55
5.3 日本大阪变压器株式会社（DAIHEN Corporation） 55
5.3.1 日本大阪变压器株式会社基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 55
5.3.2 日本大阪变压器株式会社半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 56
5.3.3 日本大阪变压器株式会社半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 58
5.3.4 日本大阪变压器株式会社公司简介及主要业务 58
5.4 XP Power 59
5.4.1 XP Power基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 59
5.4.2 XP Power半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 59
5.4.3 XP Power半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 60
5.4.4 XP Power公司简介及主要业务 60
5.5 通快（Trumpf） 61
5.5.1 通快基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 61
5.5.2 通快半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 61
5.5.3 通快半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 62
5.5.4 通快公司简介及主要业务 63
5.6 康姆艾德（Comet Plasma Control Technol） 63
5.6.1 康姆艾德基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 63
5.6.2 康姆艾德半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 64
5.6.3 康姆艾德半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 65
5.6.4 康姆艾德公司简介及主要业务 65
5.7 京三制作所（Kyosan Electric Manufacturing） 65
5.7.1 京三制作所基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 66
5.7.2 京三制作所半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 66
5.7.3 京三制作所半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 67
5.7.4 京三制作所公司简介及主要业务 68
5.8 北广科技 68
5.8.1 北广科技基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 68
5.8.2 北广科技半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 68
5.8.3 北广科技半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 69
5.8.4 北广科技公司简介及主要业务 69
5.9 爱发科（ULVAC） 70
5.9.1 爱发科基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 70
5.9.2 爱发科半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 70
5.9.3 爱发科半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 72
5.9.4 爱发科公司简介及主要业务 72
5.10 日本电子株式会社（JEOL） 72
5.10.1 日本电子株式会社基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 72
5.10.2 日本电子株式会社半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 73
5.10.3 日本电子株式会社半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 73
5.10.4 日本电子株式会社公司简介及主要业务 74
5.11 Adtec Plasma Technology 74
5.11.1 Adtec Plasma Technology基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 74
5.11.2 Adtec Plasma Technology半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 75
5.11.3 Adtec Plasma Technology半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 75
5.11.4 Adtec Plasma Technology公司简介及主要业务 75
5.12 New Power Plasma 76
5.12.1 New Power Plasma基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 76
5.12.2 New Power Plasma半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 76
5.12.3 New Power Plasma半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 77
5.12.4 New Power Plasma公司简介及主要业务 78
5.13 DKK 78
5.13.1 DKK基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 78
5.13.2 DKK半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 78
5.13.3 DKK半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 79
5.13.4 DKK公司简介及主要业务 80
5.14 Plasma Technology 80
5.14.1 Plasma Technology基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 80
5.14.2 Plasma Technology半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 80
5.14.3 Plasma Technology半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 81
5.14.4 Plasma Technology公司简介及主要业务 81
5.15 Pearl Kogyo 82
5.15.1 Pearl Kogyo基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 82
5.15.2 Pearl Kogyo半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 82
5.15.3 Pearl Kogyo半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 83
5.15.4 Pearl Kogyo公司简介及主要业务 83
5.16 SAIREM 83
5.16.1 SAIREM基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 84
5.16.2 SAIREM半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 84
5.16.3 SAIREM半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 85
5.16.4 SAIREM公司简介及主要业务 85
5.17 Reno Subsystems 85
5.17.1 Reno Subsystems基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 86
5.17.2 Reno Subsystems半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 86
5.17.3 Reno Subsystems半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 87
5.17.4 Reno Subsystems公司简介及主要业务 87
5.18 T&C Power Conversion 88
5.18.1 T&C Power Conversion基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 88
5.18.2 T&C Power Conversion半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 88
5.18.3 T&C Power Conversion半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 89
5.18.4 T&C Power Conversion公司简介及主要业务 89
5.19 Seren IPS 89
5.19.1 Seren IPS基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 90
5.19.2 Seren IPS半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 90
5.19.3 Seren IPS半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 91
5.19.4 Seren IPS公司简介及主要业务 91
5.20 Coaxis Power Systems 92
5.20.1 Coaxis Power Systems基本信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 92
5.20.2 Coaxis Power Systems半导体射频电源产品规格、参数及市场应用 92
5.20.3 Coaxis Power Systems半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2018-2023） 93
5.20.4 Coaxis Power Systems公司简介及主要业务 93
6 不同产品类型半导体射频电源分析 95
6.1 全球不同产品类型半导体射频电源销量（2018-2029） 95
6.1.1 全球不同产品类型半导体射频电源销量及市场份额（2018-2023） 95
6.1.2 全球不同产品类型半导体射频电源销量预测（2024-2029） 95
6.2 全球不同产品类型半导体射频电源收入（2018-2029） 96
6.2.1 全球不同产品类型半导体射频电源收入及市场份额（2018-2023） 96
6.2.2 全球不同产品类型半导体射频电源收入预测（2024-2029） 97
6.3 全球不同产品类型半导体射频电源价格走势（2018-2029） 98
7 不同应用半导体射频电源分析 99
7.1 全球不同应用半导体射频电源销量（2018-2029） 99
7.1.1 全球不同应用半导体射频电源销量及市场份额（2018-2023） 99
7.1.2 全球不同应用半导体射频电源销量预测（2024-2029） 99
7.2 全球不同应用半导体射频电源收入（2018-2029） 100
7.2.1 全球不同应用半导体射频电源收入及市场份额（2018-2023） 100
7.2.2 全球不同应用半导体射频电源收入预测（2024-2029） 100
7.3 全球不同应用半导体射频电源价格走势（2018-2029） 101
8 上游原料及下游市场分析 102
8.1 全球产业链趋势 102
8.2 半导体射频电源行业产业链简介 104
8.2.1 全球产业链趋势 105
8.2.2 半导体射频电源主要原料及供应情况 107
8.2.3 半导体射频电源行业主要下游客户 107
8.3 半导体射频电源行业采购模式 108
8.4 半导体射频电源行业生产模式 109
8.5 半导体射频电源行业销售模式及销售渠道 109
9 行业发展机遇和风险分析 110
9.1 半导体射频电源行业发展趋势 110
9.2 半导体射频电源行业主要驱动因素 110
9.3 半导体射频电源中国企业SWOT分析 111
9.4 中国半导体射频电源行业政策环境分析 111
9.4.1 行业主管部门及监管体制 111
9.4.2 行业相关政策动向 112
9.4.3 行业相关规划 112
10 研究成果及结论 114
11 附录 116
11.1 研究方法 116
11.2 数据来源 116
11.2.1 二手信息来源 116
11.2.2 一手信息来源 117
11.3 数据交互验证 117
11.4 免责声明 119
