光刻技术是指利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将设计好的微图形结构转移到覆有感光材料的晶圆、玻璃基板、覆铜板等基材表面上的微纳制造技术,用它加工制造的器件包括:芯片、显示面板、掩膜版、印制电路板等。光刻技术的主要工艺流程包括预处理、涂胶、曝光、显影、刻蚀和去胶等一系列环节,整个工艺流程是一个复杂的过程,各工艺环节互相影响、互相制约,其中曝光是光刻技术中最重要的工艺环节。
按照光源类型划分,光刻机不仅有极紫外光刻机(EUV),还有ArF浸没式光刻机、ArF干式光刻机、KrF光刻机、i-line设备等。
其中,ArF浸没式、ArF干式和KrF都属于深紫外线光刻机(DUV),EUV是目前最先进的光刻机,但DUV其实是当前半导体制造的主力,无论是图像传感器、功率IC、MEMS、模拟IC,还是逻辑IC,主要用DUV进行生产。EUV光刻机主要用来生产7nm、5nm和3nm芯片。
2023年全球芯片生产光刻机市场规模大约为254.3亿美元,预计2030年将达到389.4亿美元,2024-2030期间年复合增长率(CAGR)为6.9%。未来几年,本行业具有很大不确定性,本文的2024-2030年的预测数据是基于过去几年的历史发展、行业专家观点、以及本文分析师观点,综合给出的预测。
目前芯片生产光刻机市场被荷兰ASML、日本 Nikon、Canon 所垄断,其中荷兰 ASML 处于全球领先地位,国内厂商仅有上海微电子等企业能够实现投影式光刻设备的产业化。全球IC前道制造光刻机市场基本由ASML(荷兰)、Nikon(日本)和Canon(日本)三家包揽,其中高端光刻机更是由ASML垄断,ASML是全球唯一一家具备EUV设备生产能力的光刻机厂商。Canon主要提供低端光刻机产品。2022年三者的集成电路用光刻机出货量达到551台,较21年的478台增加73台,涨幅15%;从EUV、ArFi、ArF三个高端机型的出货来看,2022年共出货157台,较2021年的152台增长3.3%,其中ASML出货149台,较2021年增加4台,占据95%市场份额;Nikon出货8台,占据剩余5%的市场份额。根据ASML、Nikon和Canon三家公司的年报,2023年全球半导体IC光刻机总出货量为681台,其中ASML处于主导地位。
本报告研究“十四五”期间全球及中国市场芯片生产光刻机的供给和需求情况,以及“十五五”期间行业发展预测。
重点分析全球主要地区芯片生产光刻机的产能、销量、收入和增长潜力,历史数据2019-2023年,预测数据2024-2030年。
本文同时着重分析芯片生产光刻机行业竞争格局,包括全球市场主要厂商竞争格局和中国本土市场主要厂商竞争格局,重点分析全球主要厂商芯片生产光刻机产能、销量、收入、价格和市场份额,全球芯片生产光刻机产地分布情况、中国芯片生产光刻机进出口情况以及行业并购情况等。
此外针对芯片生产光刻机行业产品分类、应用、行业政策、产业链、生产模式、销售模式、行业发展有利因素、不利因素和进入壁垒也做了详细分析。
全球及中国主要厂商包括:
ASML
Nikon
Canon
上海微电子
按照不同产品类型,包括如下几个类别:
EUV光刻机
DUV光刻机
I-line光刻机
按照不同应用,主要包括如下几个方面:
逻辑制程
Memory
其他制程
本文包含的主要地区和国家:
北美(美国和加拿大)
欧洲(德国、英国、法国、意大利和其他欧洲国家)
亚太(中国、日本、韩国、中国台湾地区、东南亚、印度等)
拉美(墨西哥和巴西等)
中东及非洲地区(土耳其和沙特等)
本文正文共12章,各章节主要内容如下:
第1章:报告统计范围、产品细分、下游应用领域,以及行业发展总体概况、有利和不利因素、进入壁垒等;
第2章:全球市场供需情况、中国地区供需情况,包括主要地区芯片生产光刻机产量、销量、收入、价格及市场份额等;
第3章:全球主要地区和国家,芯片生产光刻机销量和销售收入,2019-2024,及预测2025到2030;
第4章:行业竞争格局分析,包括全球市场企业排名及市场份额、中国市场企业排名和份额、主要厂商芯片生产光刻机销量、收入、价格和市场份额等;
第5章:全球市场不同类型芯片生产光刻机销量、收入、价格及份额等;
第6章:全球市场不同应用芯片生产光刻机销量、收入、价格及份额等;
第7章:行业发展环境分析,包括政策、增长驱动因素、技术趋势、营销等;
第8章:行业供应链分析,包括产业链、主要原料供应情况、下游应用情况、行业采购模式、生产模式、销售模式及销售渠道等;
第9章:全球市场芯片生产光刻机主要厂商基本情况介绍,包括公司简介、芯片生产光刻机产品规格型号、销量、价格、收入及公司最新动态等;
第10章:中国市场芯片生产光刻机进出口情况分析;
第11章:中国市场芯片生产光刻机主要生产和消费地区分布;
第12章:报告结论。
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**(报告重点研究范围-**QYResearch )
**(报告数据来源渠道-**QYResearch )
作者:恒州博智调研
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来源:稀土掘金
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