集成电路(integrated circuit,IC)

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集成电路的概念

微电路(microcircuit)、微芯片(microchip)、芯片(chip),在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)集中制造在半导体晶圆表面上的小型化方式。

前述将电路制造在半导体芯片表面上的集成电路,又称薄膜(thin-film)集成电路。另有一种厚膜(英语:Thick film technology)(thick-film)集成电路(英语:hybrid integrated circuit)(hybrid integrated circuit)[1][注 1]是由独立半导体设备和被动组件集成到衬底或线路板所构成的小型化电路[注 2]。

晶体管发明并大量生产之后,各式固态半导体组件如二极管、晶体管等大量使用,取代了真空管在电路中的功能与角色。到了20世纪中后期半导体制造技术进步,便使集成电路成为可能。相对于手工组装电路使用个别的分立电子组件,集成电路可以把很大数量的微晶体管集成到一个小芯片,是一个巨大的进步。集成电路的规模生产能力、可靠性,电路设计的模块化方法确保了快速采用标准化集成电路代替了设计使用离散晶体管。

集成电路对于离散晶体管有两个主要优势:成本和性能。成本低是由于芯片把所有的组件通过照相平版技术,作为一个单位印刷,而不是在一个时间只制作一个晶体管。性能高是由于组件快速开关,消耗更低能量,因为组件很小且彼此靠近。2006年,芯片面积从几平方毫米到350 mm²,每mm²可以达到一百万个晶体管。

集成电路的发展

最先进的集成电路是微处理器或多核处理器的核心,可以控制一切电路,从数字微波炉、手机到电脑。存储器和特定应用集成电路是其他集成电路家族的例子,对于现代信息社会非常重要。虽然设计开发一个复杂集成电路的成本非常高,但是当成本分散到数以百万计的产品上时,每个集成电路的成本便能最小化。集成电路的性能很高,因为小尺寸带来短路径,使得低功率逻辑电路可以在快速开关速度应用。

这些年来,集成电路持续向更小的外型尺寸发展,使得每个芯片可以封装更多的电路。这样增加了每单位面积容量,可以降低成本和增加功能-见摩尔定律,集成电路中的晶体管数量,每1.5年增加一倍。总之,随着外形尺寸缩小,几乎所有的指标改善了-单位成本和开关功率消耗下降,速度提高。但是,集成纳米级别设备的IC不是没有问题,主要是泄漏电流。因此,对于最终用户的速度和功率消耗增加非常明显,制造商面临使用更好几何学的尖锐挑战。这个过程和在未来几年所期望的进步,在半导体国际技术路线图中有很好的描述。

集成电路的制造

从1930年代开始,元素周期表化学元素中的半导体被诸如贝尔实验室威廉·肖克利(William Shockley)的研究者认为是最适合做固态真空管的原料。这些原料在1940至50年代被系统地研究,从氧化铜开始,然后到锗,再到硅。现今,单晶硅是集成电路的主要基层,尽管元素周期表中的一些III-V价化合物(比如砷化镓)有特殊用途,例如发光二极管、激光、太阳能电池和最高速集成电路。发现无缺陷晶体的制造方法需要数十年的时间。

半导体集成电路工艺,包括以下步骤,并重复使用:

光刻

刻蚀

薄膜(化学气相沉积或物理气相沉积)

掺杂(热扩散或离子注入)

化学机械平坦化CMP

使用单晶硅晶圆(或III-V族,如砷化镓)用作基层,然后使用光刻、掺杂、CMP等技术制成MOSFET或BJT等组件,再利用薄膜和CMP技术制成导线,如此便完成芯片制作。因产品性能需求及成本考量,导线可分为铝工艺(以溅镀为主)和铜工艺(英语:Copper interconnect)(以电镀为主参见Damascene(英语:Damascene))。[2][3][4]主要的工艺技术可以分为以下几大类:黄光光刻、刻蚀、扩散、薄膜、平坦化制成、金属化制成。

IC由很多重叠的层组成,每层由影像技术定义,通常用不同的颜色表示。一些层标明在哪里不同的掺杂剂扩散进基层(成为扩散层),一些定义哪里额外的离子灌输(灌输层),一些定义导体(多晶硅或金属层),一些定义传导层之间的连接(过孔或接触层)。所有的组件由这些层的特定组合构成。

在一个自排列(CMOS)过程中,所有门层(多晶硅或金属)穿过扩散层的地方形成晶体管。 电阻结构,电阻结构的长宽比,结合表面电阻系数,决定电阻。 电容结构,由于尺寸限制,在IC上只能产生很小的电容。 更为少见的电感结构,可以制作芯片载电感或由回旋器模拟。 因为CMOS设备只引导电流在逻辑门之间转换,CMOS设备比双极型组件(如双极性晶体管)消耗的电流少很多,也是现在主流的组件。透过电路的设计,将多颗的晶体管管画在硅晶圆上,就可以画出不同作用的集成电路。

随机存取存储器是最常见类型的集成电路,所以密度最高的设备是存储器,但即使是微处理器上也有存储器。尽管结构非常复杂-几十年来芯片宽度一直减少-但集成电路的层依然比宽度薄很多。组件层的制作非常像照相过程。虽然可见光谱中的光波不能用来曝光组件层,因为他们太大了。高频光子(通常是紫外线)被用来创造每层的图案。因为每个特征都非常小,对于一个正在调试制造过程的过程工程师来说,电子显微镜是必要工具。

在使用自动测试设备(ATE)包装前,每个设备都要进行测试。测试过程称为晶圆测试或晶圆探通。晶圆被切割成矩形块,每个被称为晶片(“die”)。每个好的die被焊在“pads”上的铝线或金线,连接到封装内,pads通常在die的边上。封装之后,设备在晶圆探通中使用的相同或相似的ATE上进行终检。测试成本可以达到低成本产品的制造成本的25%,但是对于低产出,大型和/或高成本的设备,可以忽略不计。

在2005年,一个制造厂(通常称为半导体工厂(英语:Semiconductor fabrication plant),常简称fab,指fabrication facility)建设费用要超过10亿美元,因为大部分操作是自动化的。