SECS

HSMS (High-Speed SECS Message Services)属于传输协议标准，描述数据是如何通过物理层在设备与主机之间进行传输的。

一文搞懂SECS SECS（SEMI Equipment Communication Standard）半导体设备通讯标准，用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯。