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  • 带你轻松了解半导体CIM系统之RMS (一)
    RMS(Recipe Manage System),中文称配方管理系统,主要功能是对Recipe(配方)及其Recipe Body进行有效的存储、管理和控制。RMS系统也是CIM系统的其中一个重要子系
    • 计算机集成
    • 8月前
    • 1.5k
    • 5
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    带你轻松了解半导体CIM系统之RMS (一)