半导体材料

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彤程新材

路维光电

2018年1月,路维光电国内首条G11光掩膜版项目维光电高世代光掩膜生产基地项目在成都高新区启动。该项目总投资10亿元,建成后将成为我国最大的掩膜版制造基地。该项目预计2018年四季度投产。
路维光电公司2017年营业总收入1.068亿元,比去年同期增长1.55%,归属于公司股东的净利润1178.76万元,比去年同期下降-35.24%,路维光电同时也在研发半导体光罩。

菲利华公司

可以说,石英光罩基板是制造光罩的核心材料。
在该领域,我国菲利华公司可谓野心勃勃。
在显示面板领域使用的光罩基板,菲利华已经在为为日本行业主流光掩膜供应商供货。该产品壁垒很高,全球竞争对手仅有日本TOSOH,日本HOYA和美国CORNING等国际厂商。
同时在半导体领域,公司是国内唯一一家通过国际三大半导体设备商(应用材料,lamresearch,东京电子)认证的石英材料企业。
该公司同时也是国内唯一一家可以生产大规格光掩膜基板、高精密光学石英材料的厂商。
该公司目标为:大力发展半导体行业用石英材料及制品。立足大陆、日本、韩国、美国、台湾五大核心市场,在2020年,国际市场占有率达到25%,进入全球前三强。2017年,菲利华实现销售收入5.45亿元,增长23.71%,净利润1.22亿元,增长12.72%。
近年来由于全球晶圆制造产量不断上升,各大集成电路制造厂自身产能不足,纷纷外购光罩,导致菲利华这样的上游材料厂家也受益。

上海至纯科技

上海至纯科技,成立于2000年,是高端先进制造业企业提供高纯工艺系统的解决方案。为厂家提供高纯气体供应设备,高纯化学品输送和调配设备,工艺介质回收和处理设备等。

该公司三年多来半导体业务发展迅猛,2017年公司实现销售收入3.69亿元,增长40.18%,实现净利润4900万元,增长8.79%,其中半导体业务收入占比为56.92%。主要客户为华力、华润上华、士兰微等华东区域的公司。

2018年一季度,至纯科技收入7353万元,增长49.58%,净利润仅为224万元,大幅下降71.36%。

南大光电

北京科华已经完成i线和g线光刻胶生产,这两款光刻胶国内已经实现10%的自给率。

北京科华的创始人是陈昕。

陈昕1985年到美国读高分子专业研究生,毕业后去一家美国光刻胶公司上班。

2004年,陈昕在国内创办北京科华微电子材料有限公司,专做光刻胶。

经过多年的努力,北京科华已经成为中国第一家具有国际水准的光刻胶企业。

在2015年,南大光电(300346) 出资4272万受让北京科华14.24%的股份,之后向北京科华增资8000万,增资后合计持有北京科华31.39%的股份。

后来,北京科华不断增资,截止目前南大光电持有北京科华9.18%的股份。

另外,A股的高盟新材(300200) 也持有北京科华3.67%的股份。

南大光电除了投资北京科华,公司自身也在发展光刻胶业务。

2018年,南大光电新设了光刻胶事业部,还成立了子公司宁波南大光电材料有限公司,全力推进ArF光刻胶项目。

同样是在2018年,南大光电ArF光刻胶立项,获得中央财政拨款1.33亿元,而ArF光刻胶是用于12寸硅片的光刻胶,技术水准非常高。

目前,南大光电投资的北京科华KrF光刻胶已经能实现小规模供货。

苏州瑞红

除了北京科华,中国另外一家领先的光刻胶企业是苏州瑞红,而苏州瑞红是晶瑞股份(300655) 旗下的一家子公司。

苏州瑞红目前实现了半导体光刻胶中i线光刻胶的量产。

2018年,苏州瑞红已经获得中芯国际和扬杰科技的光刻胶订单。

而在2018年,晶瑞股份光刻胶业务收入不到9000万,规模还小,还有很大增长空间。

目前,晶瑞股份主营业务是超净高纯试剂和光刻胶等材料。

在2018年,南海成长将金瑞股份755万股转让给上海聚源聚芯,上海聚源聚芯目前持有晶瑞股份4.99%的股份,是晶瑞股份的第四大股东。

上海聚源聚芯成立于2016年,其中大基金出资占比45.09%,所以金瑞股份的股权转让实际上引入了大基金这个重量级的股东。

目前,晶瑞股份用于4-5英寸分立器件的光刻胶市占率高达60%,所以在光刻胶市场也算是细分龙头了。

晶瑞股份

除了生产湿电子化学品还生产光刻胶,关于光刻胶在前面我们已经谈过了,现在主要来看湿电子化学品。

在湿电子化学品方面,晶瑞股份的产品主要包括氢氟酸、硝酸、双氧水、盐酸、硫酸、氨水和异丙醇等。

其中,晶瑞股份的氨水和双氧水达到了G5等级,而高纯双氧水是芯片制造用量最大的湿电子化学品之一。

早在2001年,晶瑞股份就进入了高端双氧水业务,并且打破了国际垄断。

2008年,晶瑞股份高端双氧水突破G3等级,2013年突破G4等级,2016年达到G5等级。

目前晶瑞股份G5级双氧水正在中芯国际上测试,并实现向华虹、方正半导体供货。

在硫酸方面,2018年晶瑞股份收购江苏阳恒80%的股权,获得每年30万吨硫酸的产能。并且江苏阳恒2018年决定投资建设年产9万吨的电子级硫酸项目。

在半导体材料领域,我们想对晶瑞股份的评论是:有前途。

因为晶瑞股份光刻胶和湿电子化学品都做得不错。

在2019年,晶瑞股份的营业收入为7.56亿元,总资产为13亿元,同样规模还很小,但是前途很大。

江化微

江化微(603078) 也是一家生产湿电子化学品的公司。

目前江化微的产品普遍达到G2和G3级,部分产品达到G4等级。

除了晶瑞股份和江化微,A股市场中的多氟多、巨化股份、嘉化能源、滨化股份、 三美股份、澄星股份、光华科技和兴发集团都有涉及湿电子化学品业务。

上海新阳(光刻胶)

上海新阳(300236) 主要业务是做电子化学品,但是现在还拓展到硅片、设备和光刻胶领域。

2018年,上海新阳与邓海博士团队共同设立上海芯刻微材料技术有限责任公司,主要进行ArF光刻胶项目,目前上海新阳持有上海芯刻100%股权。

强力新材

另外,有的公司虽然不生产光刻胶,但是生产光刻胶化学品,强力新材就是这样的公司。

强力新材(300429) 是国内光刻胶专用化学品龙头,公司成立于1997年。

强力新材的产品主要有印制电路板、液晶显示器和半导体光刻胶专用光引发剂。

什么是光引发剂?
光引发剂又称光敏剂或光固化剂,这种材料在被光照射后会吸收一定波长的能量,引发单体聚合交联固化的化合物。

总之,就是被光照射后会固化,还记得前面我们说的光刻胶特性吗,被光照到和不被照到的地方溶解度不一样,就是这个原理。

目前,强力新材的干膜光刻胶用光引发剂市场份额达到70%,全球第一。

对于强力新材KrF光刻胶引发剂光酸及其中间体,其中光酸打破了国际垄断,目前市场份额已经排名全球第三。

在2018年,强力新材的营业收入为7.4亿元。

从2013年到2018年,强力新材营收增长率都维持在两位数以上,年均增速为26%。

所以说强力新材虽然目前营业收入规模不大,但是成长速度却很快。

至于说,为什么强力新材营业收入规模不大,怎么在某些细分领域就坐上了行业龙头的位置?

因为光刻胶的市场规模本来就不是非常大。

华特气体

在A股市场,华特气体(688268 是中国电子气体的先行者。

2017年,华特气体公司的Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne等4种混合气体通过了阿斯麦公司的产品认证。也是我国唯一通过阿斯麦公司认证的气体公司。

我们知道,阿斯麦是全球最大的光刻机生产企业,其最贵的极紫外光刻机,一台价格上亿美元,有钱还不一定买得到。

华特气体能够通过阿斯麦的认证,实力自然是有的。

我们再来看看华特气体的其他客户,大概就能理解公司的实力了。

华特气体的客户包括中芯国际、长江存储、台积电和士兰微等公司,国际上还有英特尔、德州仪器和SK海力士等大公司,这些都是国际芯片界的顶级玩家。

2018年,华特气体的电子气体收入为4亿元,占公司业务收入的48%。其中最大的两个客户是中芯国际和台积电。

昊华科技

除了华特气体,昊华科技(600378) 在电子气体生产方面也较有实力。

因为在2018年,昊华科技收购母公司中国昊华旗下11家科研院所,转型为先进材料和特种化学品提供商。

其中,昊华科技旗下的黎明院和光明院是国内知名电子气体生产企业,而光明院是我国唯一以特种气体为主要研究和开发方向的研究院所。

三氟化氮是良好的蚀刻剂和清洗剂,目前国内生产三氟化氮的企业主要是中船重工旗下的718所和黎明院。

2018年,中国大陆三氟化氮市场用量7405吨,而黎明院产量为3000吨。也就是说黎明院的三氟化氮产能占中国大陆用量的41%,并且占到全球用量的10%。

另外,718所三氟化氮年产能高达6000吨,后续还有望增加到1.5万吨,至于说为什么718所和黎明院的三氟化氮产量会超过大陆市场的需求量?

当然了,大陆用不完,还可以出口嘛!

四氟化碳是一种广泛用于蚀刻的电子气体,我国芯片公司用的四氟化碳50%需要从日本进口,国内能够生产四氟化碳的公司主要包括雅克科技和华特气体。

而昊华科技旗下的黎明院准备投资建设年产1000吨的四氟化碳项目,项目投产后将成国内第二大四氟化碳生产公司。

高纯氨可以生成高质量的氮化硅薄膜,2010年林德公司在厦门投产我国首座电子级高纯氨生产工厂,氨纯度达到7N。

金宏气体

金宏气体(831450) 是国内超纯氨龙头,公司在新三板上市。

2011年,金宏气体实现7N电子级超纯氨的生产,目前超纯氨年产能8500吨,在国内超纯氨市场占有率超过50%。

另外,昊华科技旗下的光明院也是国内最早进行超纯氨研发的单位之一,现在准备建年产1000吨的超纯氨生产线。

还有 ,718所和黎明院是重要的电子级六氟化钨生产企业,其中黎明院六氟化钨年产能600吨。

江丰电子

江丰电子在芯片靶材市场是唯一能与日本和美国竞争的中国企业。

2015年,江丰电子在半导体靶材市场占有率6.9%,而2017年提升到11.3%,虽然和国际巨头还有距离,但是差距也不小了。

江丰电子(300666) 的创始人是姚力军。

姚力军在日本国立广岛大学获得博士学位后,在1997年进入Royka Matthey Corporation 担任产品研究员。

2000年到2003年,姚力军在霍尼韦尔公司工作,并且在2003年调任霍尼韦尔电子材料事业部中国区总经理,而霍尼韦尔就是全球排名第二的靶材公司。

2005年,姚力军决定回国创业,他带着40个集装箱加1个散货船的设备回国,还带了多名专家和多项核心技术回国,成立江丰电子,主要做靶材。

江丰电子的靶材包括铝靶、钛靶、钽靶和钨钛靶等。

目前,江丰电子的超高纯金属溅射靶材在7纳米技术节点已经实现批量供货。

2009年,江丰电子正式向中芯国际和台积电两大晶圆代工厂巨头供货。 

目前江丰电子的靶材进入全球280多个芯片制造厂,公司生产的靶材纯度已经很高,其中铜纯度≥99.9999%,铝、钛纯度≥99.999%,钽纯度≥99.99%。

2017年,江丰电子钽靶营收1.46亿元,占公司营收比例约为26.55%,这是江丰电子收入最大的板块。其次是铝靶和钽靶,这两种靶材的营收规模差不多,大约为1.42亿元,占公司营收的25.82%。而钛靶的营收大约为1亿元。

2018年,江丰电子的营业收入为6.5亿元,总资产14亿,目前规模还比较小,还有很大成长潜力。

有研新材

另外一家芯片靶材公司是有研新材(600206)

1999年,由北京有色金属研究总院旗下的半导体材料国家工程研究中心、红外材料研究所及北京金鑫半导体改组设立有研硅股。

有研硅股一开始主要从事单晶硅业务。

2014年,有研硅股注入有研亿金、有研稀土和有研光电等公司,于是公司业务转型成为稀土、高纯金属靶材和光电材料业务,这一年公司也改名为有研新材。

有研新材旗下子公司有研亿金的高纯金属靶材实力国内领先,目前有研亿金已经开发了30多种金属靶材。

有研亿金成立于2000年,2005年公司研制出4-6寸AI/Ti/Pt靶材。

在2006年,有研亿金推出6N超高纯铜溅射靶材产品,打破国外垄断。

到2011年,有研亿金成为中芯国际的供应商。

有研亿金除了经营靶材业务,历史上还有医疗业务,不过在2016年有研亿金将医疗器械业务分离出去,专心做好靶材。

2018年,有研亿金利润为3932万,占到有研新材净利润的50%,可见靶材已经成为有研新材主要的业务。

有研亿金高纯金属材料产量2016年为49.86吨,而到2018年,公司高纯金属材料产量就高达117.8吨,处于快速成长的态势。

2019年,有研新材营业收入高达105亿元,利润先不说,规模至少上来了。

中环股份

中环股份(002129) 也有做硅片。

中环股份是国内最早从事半导体硅片业务的企业之一。

中环股份组建于1989年,其前身是建于1958年的天津半导体材料厂。

在2002年,中环股份成功拉制出国内首颗6寸区熔硅单晶。

2011年,中环股份成功拉制出国内首颗8寸区熔硅单晶。

目前,中环股份电力电子器件用半导体区熔单晶抛光片综合实力全球排名前三,国外市场占有率超过18%,国内市场占有率超过80%。

中环股份目前业务主要分为半导体和新能源两个板块。

其中半导体板块业务包括:半导体硅片、半导体器件。

目前中环股份是国内规模最大的8英寸半导体硅片供应商,8英寸片产能占到国内总产能的50%以上,实力确实不弱。

2017年,中环股份与无锡政府、晶盛机电共同以30亿美元组建中环领先半导体公司,准备在无锡建设大硅片生产线。

到2019年,中环股份在天津已经实现12寸硅片2万片/月的小规模量产。

同样是在2019年 ,中环股份非公开发行5.57亿股,募集资金不超过50亿,其中45亿投入8-12寸硅片生产线项目。

很明显,中环股份已经能做大硅片,而且已经开始跑了起来。

在新能源板块,中环股份主要产品是光伏单晶硅片。

而目前光伏硅片行业形成了以隆基、中环为首的双寡头格局。

2019年,中环股份半导体材料硅片的营收为10.97亿元,毛利3.05亿。

从2013年至今,中环股份的硅片业务明显增长,目前硅片业务占公司营收的比例大概在7%左右,所以还有很大成长空间。

对于制造硅片,会用到很多设备。

所以对于中环股份来说,2019年公司的固定资产高达205亿,而公司的总资产为491亿,固定资产占比达到41.8%。

在中环股份205亿的固定资产中,其中专用设备130亿元,占比63%。

由于公司的固定资产多,因此折旧自然也就多。

2019年,中环股份计提的折旧为17.86亿元,而这一年公司的净利润为9.04亿,计提的折旧是公司净利润的2倍。

设备会旧,所以要计提折旧,这是天经地义的。

但是旧一点的设备其实创造的利润和新的还是一样,如果我们不考虑设备旧不旧的问题,抛开账面上的利润不谈,中环股份经营活动创造的现金流远大于利润。

2019年,中环股份经营活动现金流量净额25.07亿,是公司净利润的2.8倍。

所以如果我们考察经营活动现金流量净额,其实中环股份的业绩也不差。

上海新阳

除了中环股份,在A股上市公司当中上海新阳(300236) 也涉及大硅片业务。

在2014年,上海新阳、上海硅产业投资有限公司和上海皓芯合资成立了上海新昇半导体,成立的公司主要业务就是做硅片。

后经过多次资本运作和股权结构调整,上海新昇并入上海硅产业集团。

2020年4月20日,上海硅产业集团在科创板上市,简称“沪硅产业”。

由于上海新阳还持有沪硅产业5.63%股权,所以对上海新昇的最终持股比例为7.05%。

上海新昇成立初期就锚定技术最难的12寸大硅片生产线。

2016 年至 2017 年上半年,公司12寸半导体硅片尚处于研究开发阶段,尚未实现量产销售;

2017 年 7 月,12寸半导体硅片生产线投产,后续进入产能稳步爬坡阶段;

到2018年11月,上海新昇的12寸大硅片产能达到了120万片/年,但占全球需求量也不足2%。

同年,上海新昇12寸硅片通过上海华力和中芯国际认证,下半年进入规模化生产。

要知道,中芯国际是大陆最强的晶圆代工企业,上海新昇能为中芯国际供货,而且是12寸硅片,所以实力自然是有的。

上海新昇也成为我国第一家实现12寸大硅片量产的国内企业。

2019年1-9月,上海新昇完成产销47.49万片和44.66万片,实现营收1.38亿元。

上海新昇虽然规模还小,但是增长很快。

不是说应该投资具有高成长潜力的行业吗?

大硅片就是。

而对于12寸大硅片的生产,大陆是从无到有,接下来就是加速了。

鼎龙股份

2000年,朱双全、朱顺全两兄弟一起辞去外贸工作,下海创办鼎龙化工,这就是现在的鼎龙股份。

公司成立1年,鼎龙股份就自主研发出水杨酸系列碳粉用电荷调节剂(CCA)新产品,打破日本CCA行业20多年的全球垄断。

什么是电荷调节剂( CCA)?
电荷调节剂是静电复印和静电印刷用调色剂的电荷控制剂,可以调节调色剂的带电量,提高调色剂对环境的适应性,是电子显影体系不可缺少的材料。

现在,鼎龙股份超越日本供应商,成为全球产能规模最大的CCA厂商。

2013年,鼎龙股份抛光垫立项,负责对接中芯国际晶圆制造。

2015年,鼎龙股份投入1亿元用于抛光垫项目一期工程,设计年产能10万片。

而抛光垫的价格大概在2000元每片左右,挺贵的。

如果鼎龙股份的一期工程满产,那么可实现的年收入大概在2亿元。

2016年,鼎龙股份的抛光垫项目完工,开始试产。

2017年,鼎龙抛光垫获得首张订单。

2018年,鼎龙股份抛光垫收入315万,还不大。

但凡事都有个开头,既然已经打破了国外垄断,那么后面就有望进入加速阶段。

鼎龙股份总经理朱顺全表示,相比较陶氏化学、公司在CMP抛光垫产品成本上更具优势,公司有望利用成本与品质优势实现进口替代,未来预期将迅速占领相关市场份额与有利市场地位。

目前鼎龙股份抛光垫在8寸晶圆厂主流制程全部通过认证,另外12寸晶圆抛光垫已经通过中芯国际的认证。

2019年,公司12寸片抛光垫获得首张订单。

在2019年6月,鼎龙股份旗下的鼎汇微电子拟引入战略股东湖北高投集团,并计划2022年科创板上市。

总体而言,鼎龙股份的抛光垫算是上道了,过去抛光垫全靠进口的历史也将改写。

安集科技

安集科技(688019) 就是我国抛光液的龙头,公司产品包括抛光液和光刻胶去除剂。

而且公司的光刻胶去除剂技术在国内属于领先地位。

目前,全球抛光液市场Cabot公司是龙头,占据36%的市场份额。

而安集科技在全球抛光液市场份额为2.5%。

虽然安集科技的市场份额小,但也算成功打破了国外公司对抛光液的垄断,也实现了国产替代。

目前,安集科技130-28nm技术节点的抛光液已经实现规模化销售,可用于8寸和12寸硅片的生产。

安集科技的主要客户包括中芯国际、台积电、长江存储、华润微电、华虹宏力等,这些都是芯片行业的大佬。

但是在2018年,安集科技公司营收2.48亿元,净利润0.45亿元,很明显规模还很小,很需要支持。

截止2019年第三季度,大基金持有安集科技615万股,持股比例为11.57%,是安集科技的第二大股东。

金瑞泓科技

该公司目前主要生产6英寸和8英寸硅片,12英寸大硅片还在研发之中,在2017年6月,宁波市副市长到该公司调研时,公司表示将投入3亿多元,全面提升8英寸硅片规模化生产能力,满足国内8英寸硅片的大规模市场需求,扩产后,现有产能将提升至年产240万片。

同时在6英寸硅片领域,该公司也在大规模扩产,在2017年12月环评公示里面,披露该公司投资1.2亿元将6英寸硅片产能扩大到180万片/年。